晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微?；駻MC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。

传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU 使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种安静、价格优良的机组，为洁净室输送高质量的循环空气。

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